报告题目：量子光机电系统

 报告人：张昕 中国科学院半导体研究所

 报告时间：2025年4月25日（周五） 15：00-16：00

 报告地点：北洋园校区32教140室

摘要：微机电系统（MEMS）指利用集成电路制造工艺以及微纳加工技术将机械结构与电路系统同时制造在芯片上的微型装置。得益于小尺寸、集成化、低功耗、智能化等特征，MEMS加速度计、MEMS陀螺仪等产品广泛应用于移动设备、工业、国防等领域。一方面，随着特征尺寸进一步微缩，MEMS 过渡至纳机电系统（NEMS），在体积、功耗、精度等方面具有显著的提升；另一方面，光学自由度的引入，特别是高精细的光学微腔，为工程化控制微纳机械部件提供前所未有的精度。本报告首先介绍MEMS及其商业化应用，然后分别聚焦：1）纳米线、碳纳米管、石墨烯为代表的NEMS领域的研究进展；2）量子光力学进展以及新出现的电路量子声动力学（Circuit quantum acoustodynamics, cQAD）与悬浮光力学（Levitated optomechanics）。

 主讲人简介：

张昕，中国科学院半导体研究所研究员、博士生导师、入选中国科学院海外高层次人才引进计划。主要基于微纳机电系统（MEMS/NEMS）与量子光力学（Quantum optomechanics）技术，开展极限尺度、极端条件下光-机-电耦合机理及量子传感器件研究，开发出面向国防安全、航空航天、量子信息等领域的具有小尺寸、低功耗、高灵敏、超相干的新型MEMS/NEMS。在超薄纳机电系统的动态调控、高品质因子黏弹性莫尔超晶格纳机电系统、微观声子的基础物理研究等方面取得系列创新性研究成果，共发表学术论文40篇、译著1部、英文专著章节1章，包括Nat. Commun. （3篇），Phys. Rev. X（1 篇）, Chem. Soc. Rev.（1 篇），ACS Nano（3 篇），Nano. Lett（1篇），Carbon（4篇），Phys. Rev. B（4 篇）等，总引用6400余次，H因子为23，其中引用超过200 次的论文有 8 篇，单篇最高引用超1400 次。相关成果被巴黎高师的 LKB 实验室、法国 CNRS 宣传报道。相关成果被写入沈学础院士著作《半导体光谱和光学性质》，原始数据被美国 OptiGrate 公司产品宣传页采用。与中国科学院半导体研究所谭平恒研究员在《Encyclopedia of Condensed Matter Physics-2nd》上撰写章节。与半导体所马稳龙研究员、电子科技大学邓光伟教授著有译著《量子光力学》（2024）， 图书入选 “十四五” 国家重点出版物出版规划重大工程。主持中国科学院海外高层次人才引进项目、国家自然科学基金面上/青年项目、半导体所青年推进计划和卓越青年学者项目，作为骨干承担中国科学院基础研究领域优秀青年团队、先导（B类）项目、北京市自然科学基金重点专项项目。曾于2015年获中国科学院院长优秀奖，2019年入选英国皇家化学学会top1%高被引中国学者，2020 年获康考迪亚大学Post-Doctoral Fellow Top-up Award。